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無塵操作台是一種經濟及有效的環境污染控制的方法,搭配使用 99.99%,0.3μm, HEPA 過濾器,以確保工作台或檢驗程序台的嚴格清淨度...

風扇過濾裝置 (FFU) 是一種提供淨化空氣給無塵室的設備,可很方便地變換 FFU的安裝數量與型式,以符合製程設備的清淨度要求.

浴塵室是無塵室與工作者更衣區之間 , 避免污染的屏障,其可避免因為不恰當或無預期地打開門,所造成的意外汙染狀況 .